Semicera ofrece revestimentos especializados de carburo de tántalo (TaC) para diversos compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) alcancen unha alta pureza, unha alta estabilidade á temperatura e unha alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto de cristais SIC/GAN e capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito) e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC ten como obxectivo resolver o problema dos bordos e mellorar a calidade do crecemento cristalino, e Semicera Semicera conseguiu un avance na tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando o nivel avanzado internacional.
Tras anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deTaC de ECVcos esforzos conxuntos do departamento de I+D. É doado que se produzan defectos no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois de usalasTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como pezas de Simicera para o crecemento de monocristais
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, a vida útil dos produtos de revestimento TaC de Semicera é maior e máis resistente ás altas temperaturas que a do revestimento SiC. Tras un longo período de datos de medición de laboratorio, o noso TaC pode funcionar durante moito tempo a un máximo de 2300 graos Celsius. Estas son algunhas das nosas mostras:
(a) Diagrama esquemático do dispositivo de crecemento de lingotes de monocristal de SiC mediante o método PVT (b) Soporte superior de sementes revestido de TaC (incluíndo a semente de SiC) (c) Anel guía de grafito revestido de TAC
-
Tapas revestidas de carburo de tántalo
-
Placa de revestimento de carburo de tántalo (TaC)
-
Placa de soporte de pedestal con revestimento de carburo de tántalo
-
Placa de grafito con revestimento de carburo de tántalo
-
Pezas de revestimento de carburo de tántalo CVD personalizadas
-
Anel revestido de carburo de tántalo (TaC)
