Introdución do portador de obleas
CATEGORÍA DE PRODUTOS
▶Sistema de transporte de obleas para procesos PECVD e TALOX
• Barco de grafito PECVD e TALOX (M4~M12)
• Barco SM vertical (M4, M6)
• Peza de grafito para implantes e duchas (M4~M6)
• Bandexa C/C e revestimento cerámico
• Bandexa RIE metálica e revestimento cerámico
• Selado ao baleiro: xunta tórica e xunta cadrada
▶Proceso de Transferencia de Texturización e Gravado Húmido
• Soporte en H ou casete LSC (M4~M12)
• Porta-carriers en V ou casete LSC (M4~M12)
• Portador ou casete ASC (M4, M6)
• Caixa de transporte e almacenamento con peche (M4~M12)
• Serie de rodas de transporte (rolos)
▶Portacélulas solares e portador de metal
• Portador ou casete TRC (M4~M12)
• Revista (con CINTO)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
23P7-308CT (conector M4~M12 aberto)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
22P/7-294TP (conector M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
W182-22P7-294CT (conxuntos abertos/feitos M12)
W182-21P6-240CT (conxuntos abertos/feitos M12)
CAIXA DE TRANSPORTE E ALMACENAMENTO WF (~M12)
Bandexa ou transportador C/C (M4~M10)
Bandexa ou transportador C/C (M4~M10)
BARCO VERTICAL (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
TRANSPORTADOR ASC (~M6)
TRANSPORTADOR TRC (~M12)
TRANSPORTADOR TRC (~M12)
BARCO DE GRAFITO (M12)
Sistema de transporte de obleas para o proceso PECVD
▶ BARCO DE GRAFITO (deseñado por CT) Proceso M10/M12
• CONCEPTO DE DESEÑO ESPECIAL
▶ BARCO DE GRAFITO (deseñado por CT) Proceso M4/M6
▶ Pezas de accesorios para embarcacións
▶ BARCO VERTICAL - OBLEA DE 161,7 mm
▶ BARCO VERTICAL - OBLEA DE 166 mm
▶ BARCO VERTICAL - OBLEA DE 161,7 mm, 166 mm
Portacélulas solares e portacélulas metálicas TRC
TIPO: Automatización
TAMAÑO DA OBLEA: ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161,7 x 161,7 mm ④166 x 166 mm
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
USO: Transporte (casete)
CAPACIDADE: 100 follas
PASO: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIÓNS: Aproximadamente 559 × 220 × 220 mm
Aproximadamente 712 × 260 × 260 mm
VANTAXE: Ambiente
MATERIAL: CHAMA, BARRA LATERAL - Aluminio (anodizado)
PLACA LATERAL-POM (Antiestática)
Cuberta da barra inferior-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRANSPORTADOR DE METAL TRC (LIÑA DE USO)
TRANSPORTADOR DE METAL TRC (LIÑA DE USO)
TRANSPORTADOR DE METAL TRC (LIÑA DE USO)
PLACA DE DUCHA E PORTADOR DE IMPLANTES