Semicera ofrece revestimentos especializados de carburo de tántalo (TaC) para diversos compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) alcancen unha alta pureza, unha alta estabilidade á temperatura e unha alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto de cristais SIC/GAN e capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito) e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC ten como obxectivo resolver o problema dos bordos e mellorar a calidade do crecemento cristalino, e Semicera resolveu de forma innovadora a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando o nivel avanzado internacional.
Coa chegada das obleas de carburo de silicio (SiC) de 8 polgadas, os requisitos para varios procesos de semicondutores volvéronse cada vez máis estritos, especialmente para os procesos de epitaxia onde as temperaturas poden superar os 2000 graos Celsius. Os materiais susceptores tradicionais, como o grafito revestido con carburo de silicio, tenden a sublimarse a estas altas temperaturas, interrompendo o proceso de epitaxia. Non obstante, o carburo de tántalo (TaC) de CVD aborda eficazmente este problema, soportando temperaturas de ata 2300 graos Celsius e ofrecendo unha vida útil máis longa. Contacta con Semicera.s Revestimento CVD TaC de carburo de tántalo con pezas personalizadaspara explorar máis sobre as nosas solucións avanzadas.
Tras anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deTaC de ECVcos esforzos conxuntos do departamento de I+D. É doado que se produzan defectos no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois de usalasTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, de SemiceiraProdutos revestidos con TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que as nosasRevestimentos TaCpode funcionar de xeito consistente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. A continuación móstranse algúns exemplos das nosas mostras:
