As películas delgadas utilizadas na fabricación de semicondutores teñen todas unha resistencia, e a resistencia da película ten un impacto directo no rendemento do dispositivo. Normalmente non medimos a resistencia absoluta da película, senón que utilizamos a resistencia da folla para caracterizala.
Que son a resistencia da folla e a resistividade do volume?
A resistividade de volume, tamén coñecida como resistividade de volume, é unha propiedade inherente dun material que caracteriza o que impide o fluxo de corrente eléctrica. O símbolo comúnmente usado representa ρ, a unidade é Ω.
Resistencia á folla, tamén coñecida como resistencia á folla, o nome inglés é resistencia á folla, que se refire ao valor de resistencia da película por unidade de área. Símbolos de uso común Rs ou ρs para expresar, a unidade é Ω/sq ou Ω/□
A relación entre ambos é: resistencia da folla = resistividade do volume/espesor da película, é dicir, Rs = ρ/t
Por que medir a resistencia da folla?
A medición da resistencia absoluta dunha película require un coñecemento preciso das dimensións xeométricas da película (longo, ancho, grosor), que ten moitas variables e resulta moi complexa para películas moi finas ou de forma irregular. A resistencia da folla só está relacionada co grosor da película e pódese probar rápida e directamente sen complicados cálculos de tamaño.
Que películas precisan medir a resistencia da folla?
Xeralmente, as películas condutoras e as películas semicondutores deben medirse para determinar a resistencia cadrada, mentres que as películas illantes non precisan medirse.
No dopaxe de semicondutores, tamén se mide a resistencia da folla de silicio.
Como medir a resistencia cadrada?
O método de catro sondas úsase xeralmente na industria. O método de catro sondas pode medir a resistencia cadrada de 1E-3 a 1E+9Ω/sq. O método de catro sondas pode evitar erros de medición debido á resistencia de contacto entre a sonda e a mostra.
Métodos de medición:
1) Coloque catro sondas dispostas linealmente na superficie da mostra.
2) Aplicar unha corrente constante entre as dúas sondas exteriores.
3) Determine a resistencia medindo a diferenza de potencial entre as dúas sondas internas
RS: resistencia da folla
ΔV: Cambio na tensión medida entre sondas internas
I : Corriente aplicada entre sondas exteriores
Hora de publicación: 29-mar-2024