Barco de obleas SiC
Barco de obleas de carburo de silicioé un dispositivo de carga para obleas, utilizado principalmente en procesos de difusión solar e de semicondutores.Ten características como resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, resistencia ao impacto a alta temperatura, resistencia ao bombardeo de plasma, capacidade de soportar altas temperaturas, alta condutividade térmica, alta disipación de calor e uso a longo prazo que non é fácil de dobrar e deformar.A nosa empresa usa material de carburo de silicio de alta pureza para garantir a vida útil e ofrece deseños personalizados, incluíndo.varias verticais e horizontaisbarco de obleas.
Padel SiC
OPala cantilever de carburo de silicioúsase principalmente no revestimento (difusión) de obleas de silicio, que xoga un papel crucial na carga e transporte de obleas de silicio a alta temperatura.É un compoñente fundamental deoblea de semicondutoressistemas de carga e ten as seguintes características principais:
1. Non se deforma en ambientes de alta temperatura e ten unha forza de carga elevada nas obleas;
2. É resistente ao frío extremo e á calor rápida, e ten unha longa vida útil;
3. O coeficiente de expansión térmica é pequeno, estendendo moito o ciclo de mantemento e limpeza e reduce significativamente os contaminantes.
Tubo de forno de SiC
Tubo de proceso de carburo de silicio, feito de SiC de alta pureza sen impurezas metálicas, non contamina a oblea, e é axeitado para procesos como procesos de difusión, recocido e oxidación de semicondutores e fotovoltaicos.
Brazo robot SiC
Brazo robótico SiC, tamén coñecido como efector final de transferencia de obleas, é un brazo robótico usado para transportar obleas de semicondutores e é moi utilizado nas industrias de semicondutores, optoelectrónicos e de enerxía solar.Usando carburo de silicio de alta pureza, con alta dureza, resistencia ao desgaste, resistencia sísmica, uso a longo prazo sen deformación, longa vida útil, etc., pode proporcionar servizos personalizados.
Grafito para o crecemento de cristais
Escudo térmico de grafito
Tubo de electrodo de grafito
Deflector de grafito
Portabrocas de grafito
Todos os procesos utilizados para o cultivo de crvstals de semicondutores operan en ambientes de alta temperatura e corrosivos.A zona quente do forno de crecemento de cristal adoita estar protexida con alta pureza resistente á calor e á corrosión.compoñentes de grafito, como quentadores de grafito, crisols, cilindros, deflectores, portabrocas, tubos, aneis, soportes, porcas, etc. O noso produto acabado pode acadar un contido de cinzas inferior a 5 ppm.
Grafito para epitaxia de semidontores
Base de grafito
Barril epitaxial de grafito
Base epitaxial de silicio monocriado estalino
Pezas de grafito MOCVD
Accesorio de grafito semiconductor
O proceso epitaxial refírese ao crecemento dun material de cristal único nun substrato de cristal único coa mesma disposición de celosía que o substrato.Require moitas pezas de grafito de pureza ultra alta e base de grafito con revestimento SIC.O grafito de alta pureza usado para a epitaxia de semicondutores ten unha ampla gama de aplicacións, que poden coincidir cos equipos máis utilizados na industria, ao mesmo tempo, ten unha alta calidade.pureza, revestimento uniforme, excelente vida útil e resistencia química e estabilidade térmica extremadamente altas.
Material de illamento e outros
Os materiais de illamento térmico utilizados na produción de semicondutores son feltro duro de grafito, feltro brando, folla de grafito, materiais compostos de carbono, etc. As nosas materias primas son materiais de grafito importados, que se poden cortar segundo as especificacións dos clientes e tamén se poden vender como un enteiro.O material composto de carbono adoita usarse como portador para o proceso de produción de células de polisilicio e monocristais solares.