O proceso de gravado en seco consta normalmente de catro estados básicos: antes do gravado, gravado parcial, só gravado e sobregrabado. As principais características son a taxa de gravado, a selectividade, a dimensión crítica, a uniformidade e a detección do punto final. Figura 1 Antes do gravado Figura 2 Grabado parcial Figura...
Ler máis