Introdución do soporte de obleas
CATEGORÍA DE PRODUTOS
▶Sistema de transporte de obleas para procesos PECVD e TALOX
• Barco de grafito PECVD e TALOX (M4~M12)
• Barco SM vertical (M4, M6)
• Parte de grafito de implante e ducha (M4~M6)
• Bandexa C/C e revestimento cerámico
• Bandexa RIE de metal e revestimento cerámico
• Selado ao baleiro: O-Ring e SQ-Ring
▶Proceso de transferencia de textura e gravado húmido
• LSC H-Carrier ou casete (M4~M12)
• LSC V-Carrier ou casete (M4~M12)
• Portador ASC ou casete (M4, M6)
• Caixa de transporte e almacenamento W/F (M4~M12)
• Serie de rodas de transporte (rodeo).
▶Portador de células solares e portador de metal
• Portador TRC ou casete (M4~M12)
• Revista (con CINTA)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
CAIXA DE ALMACENAMIENTO E PORTADOR WF (~M12)
BANDEJA C/C ou PORTADOR (M4~M10)
BANDEJA C/C ou PORTADOR (M4~M10)
BARCA VERTICAL (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PORTADOR ASC (~M6)
TRANSPORTADOR TRC(~M12)
TRANSPORTADOR TRC(~M12)
BARCO DE GRAFITO (M12)
Sistema de transporte de obleas para o proceso PECVD
▶ BARCO DE GRAFITO (Deseñado por CT) Proceso M10/M12
• CONCEPTO ESPECIAL DE DESEÑO
▶ BARCO DE GRAFITO (Deseñado por CT) Proceso M4/M6
▶ Pezas de accesorios para embarcacións
▶ BARCO VERTICAL-OBLEA 161,7 mm
▶ BARCO VERTICAL-OBLEA 166mm
▶ BARCO VERTICAL-161.7mm, OBLEA DE 166mm
Portador de células solares e portador de metal TRC
TIPO: Automatización
TAMAÑO DA OBLEA: ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
USO: Carry (casete)
CAPACIDADE: 100 follas
PASO: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIÓN: Aproximadamente 559 × 220 × 220 mm
Aproximadamente 712 × 260 × 260 mm
VANTAXE: Ambiente
MATERIAL: CHAMA, BARRA LATERAL-Aluminio (anodizado)
PLACA LATERAL-POM (Antiestática)
Tapa da barra inferior-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (LIÑA DE USUARIOS)
TRC-METAL CARRIER (LIÑA DE USUARIOS)
TRC-METAL CARRIER (LIÑA DE USUARIOS)
PLACA DE DUCHA E IMPLANTES, PORTADOR
