Os substratos 4H-SiC de tipo P de 2 ~ 6 polgadas e 4° fóra de ángulo de Semicera están deseñados para satisfacer as crecentes necesidades dos fabricantes de dispositivos de RF e potencia de alto rendemento. A orientación fóra do ángulo de 4 ° garante un crecemento epitaxial optimizado, facendo deste substrato unha base ideal para unha variedade de dispositivos semicondutores, incluíndo MOSFET, IGBT e díodos.
Este substrato 4H-SiC tipo P de 2 ~ 6 polgadas e 4° ten excelentes propiedades do material, incluíndo unha alta condutividade térmica, un excelente rendemento eléctrico e unha excelente estabilidade mecánica. A orientación fóra do ángulo axuda a reducir a densidade de microtubos e promove capas epitaxiais máis suaves, o que é fundamental para mellorar o rendemento e a fiabilidade do dispositivo semicondutor final.
Os substratos 4H-SiC de tipo P de 2 ~ 6 polgadas e 4 ° fóra do ángulo de Semicera están dispoñibles nunha variedade de diámetros, que van desde 2 polgadas ata 6 polgadas, para satisfacer diferentes requisitos de fabricación. Os nosos substratos están deseñados con precisión para proporcionar niveis de dopaxe uniformes e características de superficie de alta calidade, garantindo que cada oblea cumpra as especificacións rigorosas necesarias para aplicacións electrónicas avanzadas.
O compromiso de Semicera coa innovación e a calidade garante que os nosos substratos 4H-SiC tipo P de 2 ~ 6 polgadas e 4° ofrecen un rendemento consistente nunha ampla gama de aplicacións, desde electrónica de potencia ata dispositivos de alta frecuencia. Este produto ofrece unha solución fiable para a próxima xeración de semicondutores de alto rendemento e eficientes enerxéticamente, apoiando os avances tecnolóxicos en industrias como a automoción, as telecomunicacións e as enerxías renovables.
Estándares relacionados co tamaño
Tamaño | 2 polgadas | 4 polgadas |
Diámetro | 50,8 mm ± 0,38 mm | 100,0 mm+0/-0,5 mm |
Orentación da superficie | 4°cara <11-20>±0,5° | 4°cara <11-20>±0,5° |
Lonxitude plana primaria | 16,0 mm ± 1,5 mm | 32,5 mm ± 2 mm |
Lonxitude plana secundaria | 8,0 mm ± 1,5 mm | 18,0 mm ± 2 mm |
Orientación primaria de piso | Paralelo <11-20>±5,0° | Paralelo<11-20>±5,0c |
Orientación de piso secundario | 90 ° CW desde o primario ± 5,0 °, silicio cara arriba | 90 ° CW desde o primario ± 5,0 °, silicio cara arriba |
Acabado superficial | Cara C: Pulido óptico, Cara Si: CMP | Cara C: Polaco óptico, Cara Si: CMP |
Borde de oblea | Biselado | Biselado |
Rugosidade superficial | Si-Face Ra <0,2 nm | Si-Face Ra <0,2 nm |
Espesor | 350,0 ± 25,0 um | 350,0 ± 25,0 um |
Politipo | 4H | 4H |
Dopaxe | Tipo p | Tipo p |
Estándares relacionados co tamaño
Tamaño | 6 polgadas |
Diámetro | 150,0 mm+0/-0,2 mm |
Orientación da superficie | 4°cara <11-20>±0,5° |
Lonxitude plana primaria | 47,5 mm ± 1,5 mm |
Lonxitude plana secundaria | Ningún |
Orientación primaria de piso | Paralelo a <11-20>±5,0° |
Orientación plana secundaria | 90 ° CW desde o primario ± 5,0 °, silicio cara arriba |
Acabado superficial | Cara C: Pulido óptico, Cara Si: CMP |
Borde de oblea | Biselado |
Rugosidade superficial | Si-Face Ra <0,2 nm |
Espesor | 350,0 ± 25,0 μm |
Politipo | 4H |
Dopaxe | Tipo p |