Ferramenta de grafito revestido de carburo de silicio, para artesanía de epitaxia

Ferramenta de grafito revestido de carburo de silicio, para a imaxe destacada de Epitaxy Craft

Breve descrición:

Semicera ofrece unha ampla gama de susceptores e compoñentes de grafito deseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociacións estratéxicas con OEM líderes da industria, ampla experiencia en materiais e capacidades de fabricación avanzadas, Semicera ofrece deseños personalizados para satisfacer os requisitos específicos da súa aplicación. O noso compromiso coa excelencia garante que reciba solucións óptimas para as súas necesidades do reactor de epitaxia.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Descrición

A nosa empresa ofrece servizos de proceso de revestimento de SiC mediante o método CVD na superficie de grafito, cerámica e outros materiais, de xeito que os gases especiais que conteñen carbono e silicio reaccionen a alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superficie dos materiais revestidos, formando capa protectora SIC.

sobre (1)

sobre (2)

Características principais

1 .Grafito revestido de SiC de alta pureza

2. Resistencia á calor superior e uniformidade térmica

3. Revestimento de cristal fino de SiC para unha superficie lisa

4. Alta durabilidade fronte á limpeza química

Especificacións principais do revestimento CVD-SIC

Propiedades SiC-CVD
Estrutura cristalina	Fase β de FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño do gran	μm	2~10
Pureza Química	%	99,99995
Capacidade calorífica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Forza felexural	MPa (RT de 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (cobra de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300