Ferramenta de grafito revestido de carburo de silicio, para artesanía de epitaxia

Descrición curta:

Semicera ofrece unha ampla gama de susceptores e compoñentes de grafito deseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociacións estratéxicas con OEM líderes da industria, ampla experiencia en materiais e capacidades de fabricación avanzadas, Semicera ofrece deseños personalizados para satisfacer os requisitos específicos da súa aplicación.O noso compromiso coa excelencia garante que reciba solucións óptimas para as súas necesidades do reactor de epitaxia.

 


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Descrición

A nosa empresa ofrece servizos de proceso de revestimento de SiC mediante o método CVD na superficie de grafito, cerámica e outros materiais, de xeito que os gases especiais que conteñen carbono e silicio reaccionen a alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superficie dos materiais revestidos, formando capa protectora SIC.

sobre (1)

sobre (2)

Características principais

1 .Grafito revestido de SiC de alta pureza

2. Resistencia á calor superior e uniformidade térmica

3. Revestimento de cristal fino de SiC para unha superficie lisa

4. Alta durabilidade fronte á limpeza química

Especificacións principais do revestimento CVD-SIC

Propiedades SiC-CVD
Estrutura cristalina Fase β de FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño do gran μm 2~10
Pureza Química % 99,99995
Capacidade calorífica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Forza felexural MPa (RT de 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (cobra de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Condutividade térmica (W/mK) 300
Lugar de traballo Semicera
Lugar de traballo semicera 2
Máquina de equipamento
Procesamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
O noso servizo

  • Anterior:
  • Seguinte: