Substrato SiC tipo N de 6 polgadas

Descrición curta:

Semicera ofrece unha ampla gama de obleas de SiC 4H-8H.Durante moitos anos, somos fabricantes e provedores de produtos para as industrias de semicondutores e fotovoltaica.Os nosos principais produtos inclúen: placas de gravado de carburo de silicio, remolques de barcos de carburo de silicio, barcos de obleas de carburo de silicio (PV e semicondutores), tubos para fornos de carburo de silicio, paletas cantilever de carburo de silicio, portabrocas de carburo de silicio, vigas de carburo de silicio, así como revestimentos CVD SiC e Revestimentos TaC.Cubrindo a maioría dos mercados europeos e americanos.Estamos ansiosos por ser o teu socio a longo prazo en China.

 

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O material de cristal único de carburo de silicio (SiC) ten un ancho de banda grande (~ Si 3 veces), alta condutividade térmica (~ Si 3,3 veces ou GaAs 10 veces), alta taxa de migración de saturación de electróns (~ Si 2,5 veces), alta ruptura eléctrica. campo (~Si 10 veces ou GaAs 5 veces) e outras características destacadas.

Os materiais semicondutores de terceira xeración inclúen principalmente SiC, GaN, diamante, etc., porque o seu ancho de banda lavada (Eg) é maior ou igual a 2,3 electróns voltios (eV), tamén coñecidos como materiais semicondutores de banda ancha.En comparación cos materiais semicondutores de primeira e segunda xeración, os materiais semicondutores de terceira xeración teñen as vantaxes dunha alta condutividade térmica, un alto campo eléctrico de ruptura, unha alta taxa de migración de electróns saturados e unha alta enerxía de enlace, que poden satisfacer os novos requisitos da tecnoloxía electrónica moderna para altas velocidades. temperatura, alta potencia, alta presión, alta frecuencia e resistencia á radiación e outras condicións duras.Ten importantes perspectivas de aplicación nos campos da defensa nacional, aviación, aeroespacial, exploración de petróleo, almacenamento óptico, etc., e pode reducir a perda de enerxía en máis do 50% en moitas industrias estratéxicas como as comunicacións de banda ancha, a enerxía solar, a fabricación de automóbiles, etc. a iluminación de semicondutores e a rede intelixente, podendo reducir o volume dos equipos en máis do 75%, o que ten unha importancia histórica para o desenvolvemento da ciencia e tecnoloxía humana.

A enerxía Semicera pode proporcionar aos clientes un substrato de carburo de silicio condutor (condutor), semiillante (semiillante), HPSI (semiillante de alta pureza);Ademais, podemos proporcionar aos clientes follas epitaxiais de carburo de silicio homoxéneas e heteroxéneas;Tamén podemos personalizar a folla epitaxial segundo as necesidades específicas dos clientes e non hai cantidade mínima de pedido.

Elementos

Produción

Investigación

Maniquí

Parámetros de cristal

Politipo

4H

Erro de orientación da superficie

<11-20 >4±0,15°

Parámetros eléctricos

Dopante

Nitróxeno tipo n

Resistividade

0,015-0,025 ohmios·cm

Parámetros mecánicos

Diámetro

150,0 ± 0,2 mm

Espesor

350 ± 25 μm

Orientación plana primaria

[1-100]±5°

Lonxitude plana primaria

47,5 ± 1,5 mm

Piso secundario

Ningún

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Proa

-15 μm ~ 15 μm

-35 μm ~ 35 μm

-45 μm ~ 45 μm

Deformación

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm)

Estrutura

Densidade de microtubos

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10 átomos/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Calidade frontal

Diante

Si

Acabado superficial

CMP Si-face

Partículas

≤60ea/oblea (tamaño ≥0,3μm)

NA

Raiaduras

≤5 unidades/mm.Lonxitude acumulada ≤Diámetro

Lonxitude acumulada ≤ 2 * Diámetro

NA

Casca de laranxa/focos/manchas/estrías/grietas/contaminación

Ningún

NA

Fichas de borde/sanges/fracturas/placas hexagonales

Ningún

Áreas politípicas

Ningún

Área acumulada ≤ 20%

Área acumulada ≤ 30%

Marcado frontal con láser

Ningún

Calidade traseira

Acabado traseiro

C-face CMP

Raiaduras

≤5ea/mm,Lonxitude acumulada≤2*Diámetro

NA

Defectos posteriores (fichas de bordo/sangrías)

Ningún

Rugosidade nas costas

Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm)

Marcado láser traseiro

1 mm (desde o borde superior)

Borde

Borde

Chaflán

Embalaxe

Embalaxe

Epi-ready con envasado ao baleiro

Embalaxe de casetes multiwafer

*Notas: "NA" significa que non hai solicitude. Os elementos non mencionados poden referirse a SEMI-STD.

tech_1_2_tamaño
Obleas de SiC

Lugar de traballo Semicera Lugar de traballo semicera 2 Máquina de equipamento Procesamento CNN, limpeza química, revestimento CVD O noso servizo


  • Anterior:
  • Seguinte: