Anel de SiC CVD a granel

Breve descrición:

Os aneis de SiC CVD a granel usan gas de fonte de silicio (como o hidruro de silicio) e gas de fonte de carbono (como o metano) como materias primas, reaccionando a alta temperatura para depositar materiais SiC de gran tamaño nun substrato ou molde. Este proceso permite que o SiC se deposite uniformemente nunha gran área, formando unha estrutura de anel forte e consistente.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Por que é o anel de gravado de carburo de silicio?

RTPAneis CVD SiCson amplamente utilizados en campos industriais e científicos en ambientes de alta temperatura e corrosivos. Desempeña un papel importante na fabricación de semicondutores, optoelectrónica, maquinaria de precisión e industria química. As aplicacións específicas inclúen:

1. Fabricación de semicondutores:Aneis RTP CVD SiCpódese usar para quentar e arrefriar equipos de semicondutores, proporcionando un control estable da temperatura e garantindo a precisión e consistencia do proceso.

2. Optoelectrónica: debido á súa excelente condutividade térmica e resistencia a altas temperaturas, RTPAneis CVD SiCpódese utilizar como soporte e materiais de disipación de calor para láseres, equipos de comunicación de fibra óptica e compoñentes ópticos.

3. Máquinas de precisión: os aneis RTP CVD SiC pódense usar para instrumentos e equipos de precisión en ambientes corrosivos e de alta temperatura, como fornos de alta temperatura, dispositivos de baleiro e reactores químicos.

4. Industria química: Debido á súa resistencia á corrosión e estabilidade química, os aneis RTP CVD SiC pódense utilizar en recipientes, tubos e reactores en reaccións químicas e procesos catalíticos.

Sistema Epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Rendemento do produto:

1. Coñece o proceso por debaixo de 28 nm

2. Super resistencia á corrosión

3. Rendemento super limpo

4. Super dureza

5. Alta densidade

6. Resistencia a altas temperaturas

7. Resistencia ao desgaste

Aplicación do produto:

Os materiais de carburo de silicio teñen as características de alta dureza, resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión e estabilidade á alta temperatura. Os produtos con excelente rendemento completo úsanse amplamente nos procesos de gravado en seco e TF/difusión.