Portador/Susceptor de SiC de alta pureza

Breve descrición:

O disco de rodamento de carburo de silicio tamén se coñece como bandexa SIC, disco de gravado de carburo de silicio, disco de gravado ICP. A bandexa de carburo de silicio para gravado LED (bandexa SiC) φ600mm é un accesorio especial para o gravado profundo de silicio (máquina de gravado ICP).

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Descrición

A cerámica de carburo de silicio ten excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia, alta dureza, alto módulo elástico, etc., tamén ten unha excelente estabilidade a altas temperaturas como alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansión térmica e boa rixidez específica e óptica. rendemento de procesamento.
Son especialmente axeitados para producir pezas de cerámica de precisión para equipos de circuítos integrados, como máquinas de litografía, utilizadas principalmente para fabricar o portador/susceptor de SiC, o barco de obleas de SiC, o disco de succión, a placa de refrixeración por auga, o reflector de medición de precisión, a reixa e outras pezas estruturais de cerámica.

transportista 2

transportista 3

transportista 4

Vantaxes

Resistencia a altas temperaturas: uso normal a 1800 ℃
Alta condutividade térmica: equivalente ao material de grafito
Alta dureza: dureza só superada por diamante, nitruro de boro
Resistencia á corrosión: o ácido forte e o álcali non teñen corrosión, a resistencia á corrosión é mellor que o carburo de tungsteno e a alúmina
Peso lixeiro: baixa densidade, próximo ao aluminio
Sen deformación: baixo coeficiente de expansión térmica
Resistencia ao choque térmico: pode soportar cambios bruscos de temperatura, resistir ao choque térmico e ten un rendemento estable
Os soportes de carburo de silicio, como o portador de gravado sic, o susceptor de gravado ICP, son amplamente utilizados en semicondutores CVD, pulverización catódica ao baleiro, etc. Podemos proporcionar aos clientes soportes de obleas personalizados de materiais de silicio e carburo de silicio para atender diferentes aplicacións.

Vantaxes

Propiedade	Valor	Método
Densidade	3,21 g/cc	Pía-flotador e dimensión
Calor específico	0,66 J/g °K	Flash láser pulsado
Resistencia á flexión	450 MPa 560 MPa	Curva de 4 puntos, curva de punto RT4, 1300°
Tenacidade á fractura	2,94 MPa m1/2	Microindentación
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500 g
Módulo elásticoMódulo de Young	450 GPa 430 GPa	Codo de 4 puntos, curva RT4 pt, 1300 °C
Tamaño do gran	2-10 µm	SEM

Perfil da empresa

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. é un provedor líder de cerámicas de semicondutores avanzados e o único fabricante en China que pode proporcionar simultaneamente cerámica de carburo de silicio de alta pureza (especialmente o SiC recristalizado) e revestimento CVD SiC. Ademais, a nosa empresa tamén aposta por campos cerámicos como a alúmina, nitruro de aluminio, circonio, nitruro de silicio, etc.

Os nosos principais produtos inclúen: disco de gravado de carburo de silicio, remolque de barco de carburo de silicio, barco de obleas de carburo de silicio (fotovoltaico e semicondutor), tubo de forno de carburo de silicio, paleta cantilever de carburo de silicio, portabrocas de carburo de silicio, feixe de carburo de silicio, así como o revestimento CVD SiC e TaC revestimento. Os produtos utilizados principalmente nas industrias de semicondutores e fotovoltaicos, como equipos para o crecemento de cristais, epitaxia, gravado, envases, revestimentos e fornos de difusión, etc.
sobre (2)