Barco de grafito isostático PECVD

Imaxe destacada do barco de grafito PECVD isostático

Breve descrición:

O barco de grafito isostático PECVD úsase amplamente en varios enlaces da fabricación de semicondutores, como a deposición de película de polisilicio, a deposición de película de óxido, a deposición de película de nitruro, etc. O seu excelente rendemento convérteo nun transportador ideal de obleas no proceso PECVD.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O barco de grafito isostático PECVD de SEMICERA é un produto de grafito de alta pureza e alta densidade deseñado para soportar obleas no proceso PECVD (deposición de vapor químico mellorada por plasma). SEMICERA utiliza tecnoloxía de prensado isostática avanzada para garantir que o barco de grafito teña unha excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e boa condutividade térmica, que é un consumible indispensable no proceso de fabricación de semicondutores.

O barco de grafito PECVD isostático SEMICERA ten as seguintes vantaxes:

▪ Alta pureza: o material de grafito é de alta pureza e baixo contido de impurezas para evitar a contaminación da superficie da oblea.

▪ Alta densidade: alta densidade, alta resistencia mecánica, pode soportar altas temperaturas e ambientes de alto baleiro.

▪ Boa estabilidade dimensional: pequeno cambio dimensional a alta temperatura para garantir a estabilidade do proceso.

▪ Excelente condutividade térmica: transfire eficazmente a calor para evitar o sobrequecemento da oblea.

▪ Forte resistencia á corrosión: Capaz de resistir a erosión por diversos gases corrosivos e plasma.

Parámetro de rendemento	semicera	SGL R6510	Parámetro de rendemento
Densidade aparente (g/cm3)	1.91	1,83	1,85
Resistencia á flexión (MPa)	63	60	49
Resistencia a la compresión (MPa)	135	130	103
Dureza Shore (HS)	70	64	60
Coeficiente de expansión térmica (10-6/K)	85	105	130
Coeficiente de expansión térmica (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Resistividad (μΩm)	11-13	13	10

Vantaxes de elixirnos:
▪ Selección de materiais: utilízanse materiais de grafito de alta pureza para garantir a calidade do produto.
▪ Tecnoloxía de procesado: utilízase o prensado isostático para garantir a densidade e uniformidade do produto.
▪ Personalización do tamaño: os barcos de grafito de diferentes tamaños e formas pódense personalizar segundo as necesidades do cliente.
▪ Tratamento de superficies: ofrécense unha variedade de métodos de tratamento de superficies, como o revestimento de carburo de silicio, nitruro de boro, etc., para satisfacer diferentes requisitos do proceso.