Vantaxes do procesamento LMJ
Os defectos inherentes do procesamento láser regular pódense superar mediante o uso intelixente da tecnoloxía láser Laser microjet (LMJ) para propagar as características ópticas da auga e do aire. Esta tecnoloxía permite que os pulsos láser se reflictan totalmente no chorro de auga procesado de alta pureza de forma sen perturbacións para chegar á superficie de mecanizado como na fibra óptica.
As principais características da tecnoloxía LMJ son:
1. O feixe láser é unha estrutura columnar (paralela).
2. O pulso láser transmítese no chorro de auga como unha fibra óptica, sen ningunha interferencia ambiental.
3. O raio láser está enfocado no equipo LMJ e a altura da superficie mecanizada non cambia durante todo o proceso de procesamento, polo que non é necesario seguir enfocando co cambio da profundidade de procesamento durante o procesamento.
4. Limpar a superficie continuamente.
5. Ademais da ablación do material da peza por cada pulso láser, cada unidade de tempo desde o inicio de cada pulso ata o seguinte pulso, o material procesado está no estado de auga de refrixeración en tempo real durante aproximadamente o 99% do tempo. , o que case elimina a zona afectada pola calor e a capa de refundición, pero mantén a alta eficiencia do procesamento.
| Especificación xeral | LCSA-100 | LCSA-200 |
| Volume da encimera | 125 x 200 x 100 | 460×460×300 |
| Eixe lineal XY | Motor lineal. Motor lineal | Motor lineal. Motor lineal |
| Eixe lineal Z | 100 | 300 |
| Precisión de posicionamento μm | +/- 5 | +/- 3 |
| Precisión de posicionamento repetida μm | +/- 2 | +/- 1 |
| Aceleración G | 0,5 | 1 |
| Control numérico | 3 eixes | 3 eixes |
| Láser |
|
|
| Tipo láser | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, pulso |
| Lonxitude de onda nm | 532/1064 | 532/1064 |
| Potencia nominal W | 50/100/200 | 200/400 |
| Chorro de auga |
|
|
| Diámetro da boquilla μm | 25-80 | 25-80 |
| Barra de presión de boquilla | 100-600 | 0-600 |
| Tamaño/Peso |
|
|
| Dimensións (máquina) (ancho x longo x alto) | 1050 x 800 x 1870 | 1200 x 1200 x 2000 |
| Dimensións (armario de control) (W x L x H) | 700 x 2300 x 1600 | 700 x 2300 x 1600 |
| Peso (equipo) kg | 1170 | 2500-3000 |
| Peso (armario de control) kg | 700-750 | 700-750 |
| Consumo enerxético integral |
|
|
| Entrada | CA 230 V +6%/-10%, unidireccional 50/60 Hz ±1% | CA 400 V +6%/-10%, trifásica 50/60 Hz ±1% |
| Valor máximo | 2,5 kVA | 2,5 kVA |
| Únete | Cable de alimentación de 10 m: P+N+E, 1,5 mm2 | Cable de alimentación de 10 m: P+N+E, 1,5 mm2 |
| Gama de aplicacións de usuario da industria de semicondutores | Lingote redondo ≤4 polgadas Rebanadas de lingote de ≤4 polgadas Trazado en lingotes ≤4 polgadas
| Lingote redondo ≤6 polgadas Rebanadas de lingote de ≤6 polgadas ≤6 polgadas trazado de lingotes A máquina cumpre co valor teórico circular/corte/corte de 8 polgadas e os resultados prácticos específicos deben optimizarse a estratexia de corte |
