Semicerapresenta oCasete de semicondutores, unha ferramenta esencial para o manexo seguro e eficiente das obleas durante todo o proceso de fabricación de semicondutores. Deseñado con alta precisión, este casete garante que as súas obleas sexan almacenadas e transportadas con seguridade, mantendo a súa integridade en cada etapa.
Protección superior e durabilidadeOCasete de semicondutoresde Semicera está construído para ofrecer a máxima protección ás súas obleas. Construído a partir de materiais robustos e resistentes á contaminación, protexe as túas obleas de posibles danos e contaminación, polo que é unha opción ideal para ambientes de salas limpas. O deseño do casete minimiza a xeración de partículas e garante que as obleas permanezan intactas e seguras durante a manipulación e o transporte.
Deseño mellorado para un rendemento óptimoSemiceraCasete de semicondutorespresenta un deseño meticulosamente deseñado que proporciona un aliñamento preciso da oblea, reducindo o risco de desalineación e danos mecánicos. As ranuras do casete están perfectamente espaciadas para manter cada oblea de forma segura, evitando calquera movemento que poida producir arañazos ou outras imperfeccións.
Versatilidade e compatibilidadeOCasete de semicondutoresé versátil e compatible con varios tamaños de obleas, polo que é adecuado para diferentes etapas de fabricación de semicondutores. Tanto se traballas con dimensións de obleas estándar como personalizadas, este casete adáptase ás túas necesidades, ofrecendo flexibilidade nos teus procesos de fabricación.
Manexo simplificado e eficienciaDeseñado pensando no usuario, oCasete semiconductor Semiceraé lixeiro e fácil de manexar, o que permite unha carga e descarga rápida e eficiente. Este deseño ergonómico non só aforra tempo, senón que tamén reduce o risco de erros humanos, garantindo un funcionamento suave dentro das súas instalacións.
Cumprindo os estándares da industriaSemicera garante que oCasete de semicondutorescumpre os máis altos estándares da industria de calidade e fiabilidade. Cada casete sométese a probas rigorosas para garantir que funciona de forma consistente nas esixentes condicións de fabricación de semicondutores. Esta dedicación á calidade garante que as súas obleas estean sempre protexidas, mantendo os altos estándares esixidos na industria.
| Elementos | Produción | Investigación | Maniquí |
| Parámetros de cristal | |||
| Politipo | 4H | ||
| Erro de orientación da superficie | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parámetros eléctricos | |||
| Dopante | Nitróxeno tipo n | ||
| Resistividade | 0,015-0,025 ohmios·cm | ||
| Parámetros mecánicos | |||
| Diámetro | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Espesor | 350 ± 25 μm | ||
| Orientación plana primaria | [1-100]±5° | ||
| Lonxitude plana primaria | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Piso secundario | Ningún | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Proa | -15 μm ~ 15 μm | -35 μm ~ 35 μm | -45 μm ~ 45 μm |
| Deformación | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Rugosidade frontal (Si-face) (AFM) | Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm) | ||
| Estrutura | |||
| Densidade de microtubos | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Impurezas metálicas | ≤5E10 átomos/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Calidade frontal | |||
| Fronte | Si | ||
| Acabado superficial | CMP Si-face | ||
| Partículas | ≤60ea/oblea (tamaño ≥0,3μm) | NA | |
| Raiaduras | ≤5 unidades/mm. Lonxitude acumulada ≤Diámetro | Lonxitude acumulada ≤ 2 * Diámetro | NA |
| Casca de laranxa/focos/manchas/estrías/fechas/contaminación | Ningún | NA | |
| Fichas de borde/sangrías/fracturas/placas hexagonales | Ningún | ||
| Áreas politípicas | Ningún | Área acumulada ≤ 20% | Área acumulada ≤ 30% |
| Marcado frontal con láser | Ningún | ||
| Calidade traseira | |||
| Acabado traseiro | C-face CMP | ||
| Raiaduras | ≤5ea/mm,Lonxitude acumulada≤2*Diámetro | NA | |
| Defectos posteriores (fichas de bordo/sangrías) | Ningún | ||
| Rugosidade nas costas | Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm) | ||
| Marcado láser traseiro | 1 mm (desde o borde superior) | ||
| Borde | |||
| Borde | Chaflán | ||
| Embalaxe | |||
| Embalaxe | Epi-ready con envasado ao baleiro Embalaxe de casetes multiwafer | ||
| *Notas: "NA" significa que non hai solicitude. Os elementos non mencionados poden referirse a SEMI-STD. | |||
