Si substrato

Breve descrición:

Coa súa precisión superior e alta pureza, o substrato Si de Semicera garante un rendemento fiable e consistente en aplicacións críticas, incluíndo a fabricación de Epi-Wafer e óxido de galio (Ga2O3). Deseñado para soportar a produción de microelectrónica avanzada, este substrato ofrece unha compatibilidade e estabilidade excepcionais, polo que é un material esencial para tecnoloxías de punta nos sectores das telecomunicacións, da automoción e da industria.


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O substrato Si de Semicera é un compoñente esencial na produción de dispositivos semicondutores de alto rendemento. Deseñado a partir de silicio (Si) de alta pureza, este substrato ofrece unha uniformidade, estabilidade e unha condutividade excelente, polo que é ideal para unha ampla gama de aplicacións avanzadas na industria de semicondutores. Se se usa na produción de Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer ou SiN Substrate, o Semicera Si Substrate ofrece unha calidade constante e un rendemento superior para satisfacer as crecentes demandas da electrónica moderna e da ciencia dos materiais.

Rendemento inigualable con alta pureza e precisión

O substrato Si de Semicera está fabricado mediante procesos avanzados que garanten unha alta pureza e un estrito control dimensional. O substrato serve como base para a produción dunha variedade de materiais de alto rendemento, incluíndo Epi-Wafers e AlN Wafers. A precisión e uniformidade do substrato Si fan que sexa unha excelente opción para crear capas epitaxiais de película fina e outros compoñentes críticos utilizados na produción de semicondutores de próxima xeración. Tanto se traballas con óxido de galio (Ga2O3) como con outros materiais avanzados, o substrato Si de Semicera garante os máis altos niveis de fiabilidade e rendemento.

Aplicacións na fabricación de semicondutores

Na industria de semicondutores, o substrato Si de Semicera utilízase nunha ampla gama de aplicacións, incluíndo a produción de Si Wafer e SiC Substrate, onde proporciona unha base estable e fiable para a deposición de capas activas. O substrato xoga un papel fundamental na fabricación de obleas SOI (Silicon On Insulator), que son esenciais para a microelectrónica avanzada e os circuítos integrados. Ademais, as Epi-Wafers (obleas epitaxiais) construídas sobre substratos de Si son parte integrante da produción de dispositivos semicondutores de alto rendemento, como transistores de potencia, díodos e circuítos integrados.

O substrato Si tamén admite a fabricación de dispositivos que usan óxido de galio (Ga2O3), un material prometedor de banda ampla usado para aplicacións de alta potencia en electrónica de potencia. Ademais, a compatibilidade do substrato Si de Semicera con obleas de AlN e outros substratos avanzados garante que poida satisfacer os diversos requisitos das industrias de alta tecnoloxía, o que o converte nunha solución ideal para a produción de dispositivos de vangarda nos sectores de telecomunicacións, automoción e industria. .

Calidade fiable e consistente para aplicacións de alta tecnoloxía

O substrato Si de Semicera está coidadosamente deseñado para satisfacer as rigorosas demandas da fabricación de semicondutores. A súa excepcional integridade estrutural e as súas propiedades de superficie de alta calidade convérteno no material ideal para o seu uso en sistemas de casete para o transporte de obleas, así como para a creación de capas de alta precisión en dispositivos semicondutores. A capacidade do substrato para manter unha calidade consistente en condicións de proceso variables garante defectos mínimos, mellorando o rendemento e o rendemento do produto final.

Coa súa condutividade térmica superior, resistencia mecánica e alta pureza, o substrato Si de Semicera é o material preferido para os fabricantes que buscan acadar os máis altos estándares de precisión, fiabilidade e rendemento na produción de semicondutores.

Escolla o substrato Si de Semicera para solucións de alta pureza e alto rendemento

Para os fabricantes da industria de semicondutores, o Si Substrate de Semicera ofrece unha solución robusta e de alta calidade para unha ampla gama de aplicacións, desde a produción de Si Wafer ata a creación de Epi-Wafers e SOI Wafers. Cunha pureza, precisión e fiabilidade inigualables, este substrato permite a produción de dispositivos semicondutores de vangarda, garantindo un rendemento a longo prazo e unha eficiencia óptima. Escolla Semicera para as súas necesidades de substrato Si e confíe nun produto deseñado para satisfacer as demandas das tecnoloxías do futuro.

Elementos

Produción

Investigación

Maniquí

Parámetros de cristal

Politipo

4H

Erro de orientación da superficie

<11-20 >4±0,15°

Parámetros eléctricos

Dopante

Nitróxeno tipo n

Resistividade

0,015-0,025 ohmios·cm

Parámetros mecánicos

Diámetro

150,0 ± 0,2 mm

Espesor

350 ± 25 μm

Orientación plana primaria

[1-100]±5°

Lonxitude plana primaria

47,5 ± 1,5 mm

Piso secundario

Ningún

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Proa

-15 μm ~ 15 μm

-35 μm ~ 35 μm

-45 μm ~ 45 μm

Deformación

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm)

Estrutura

Densidade de microtubos

<1 ea/cm2

<10 unidades/cm2

<15 ea/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10 átomos/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Calidade frontal

Fronte

Si

Acabado superficial

CMP Si-face

Partículas

≤60ea/oblea (tamaño ≥0,3μm)

NA

Raiaduras

≤5 unidades/mm. Lonxitude acumulada ≤Diámetro

Lonxitude acumulada ≤ 2 * Diámetro

NA

Casca de laranxa/focos/manchas/estrías/fechas/contaminación

Ningún

NA

Fichas de borde/sanges/fracturas/placas hexagonales

Ningún

Áreas politípicas

Ningún

Área acumulada ≤ 20%

Área acumulada ≤ 30%

Marcado frontal con láser

Ningún

Calidade traseira

Acabado traseiro

C-face CMP

Raiaduras

≤5ea/mm,Lonxitude acumulada≤2*Diámetro

NA

Defectos posteriores (fichas de bordo/sangrías)

Ningún

Rugosidade nas costas

Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm)

Marcado láser traseiro

1 mm (desde o borde superior)

Borde

Borde

Chaflán

Embalaxe

Embalaxe

Epi-ready con envasado ao baleiro

Embalaxe de casetes multiwafer

*Notas: "NA" significa que non hai solicitude. Os elementos non mencionados poden referirse a SEMI-STD.

tech_1_2_tamaño
Obleas de SiC

  • Anterior:
  • Seguinte: