Substratos de carburo de silicio|Obleas de SiC

Breve descrición:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. é un provedor líder especializado en obleas e consumibles de semicondutores avanzados. Dedicámonos a ofrecer produtos de alta calidade, fiables e innovadores para a fabricación de semicondutores, a industria fotovoltaica e outros campos relacionados.

A nosa liña de produtos inclúe produtos de grafito revestidos de SiC/TaC e produtos cerámicos, que inclúen diversos materiais como carburo de silicio, nitruro de silicio e óxido de aluminio, etc.

Actualmente, somos o único fabricante que ofrece un revestimento de SiC de pureza do 99,9999% e un 99,9% de carburo de silicio recristalizado. A lonxitude máxima do revestimento de SiC que podemos facer 2640 mm.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O material de cristal único de carburo de silicio (SiC) ten un ancho de banda grande (~ Si 3 veces), alta condutividade térmica (~ Si 3,3 veces ou GaAs 10 veces), alta taxa de migración de saturación de electróns (~ Si 2,5 veces), alta ruptura eléctrica. campo (~Si 10 veces ou GaAs 5 veces) e outras características destacadas.

Os dispositivos SiC teñen vantaxes insubstituíbles no campo da alta temperatura, alta presión, alta frecuencia, dispositivos electrónicos de alta potencia e aplicacións ambientais extremas, como enerxía aeroespacial, militar, nuclear, etc., compensan os defectos dos dispositivos de materiais semicondutores tradicionais na práctica. aplicacións, e están a converterse gradualmente na corrente principal dos semicondutores de potencia.

Especificacións do substrato de carburo de silicio 4H-SiC

Elemento 项目	Especificacións 参数
Politipo 晶型	4H -SiC	6H- SiC
Diámetro 晶圆直径	2 polgadas \| 3 polgadas \| 4 polgadas \| 6 polgadas	2 polgadas \| 3 polgadas \| 4 polgadas \| 6 polgadas
Espesor 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Condutividade 导电类型	Tipo N / Semiisolante N型导电片/ 半绝缘片	Tipo N / Semiisolante N型导电片/ 半绝缘片
Dopante 掺杂剂	N2 (nitróxeno)V (vanadio)	N2 (nitróxeno) V (vanadio)
Orientación 晶向	No eixe <0001> Fóra do eixe <0001> desactivado 4°	No eixe <0001> Fóra do eixe <0001> desactivado 4°
Resistividade 电阻率	0,015 ~ 0,03 ohmios-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 ohmios-cm (6H-N)
Densidade de microtubo (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Arco / Deformación 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Superficie 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Grao 产品等级	Grao de produción/investigación	Grao de produción/investigación
Secuencia de apilado de cristales 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parámetro de celosía 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A, c=15,117A
Por exemplo/eV(Band-gap) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (constante dieléctrica) 介电常数	9.6	9,66
Índice de refracción 折射率	n0 =2,719 ne =2,777	n0 =2,707, ne =2,755

Especificacións do substrato de carburo de silicio 6H-SiC

Elemento 项目	Especificacións 参数
Politipo 晶型	6H-SiC
Diámetro 晶圆直径	4 polgadas \| 6 polgadas
Espesor 厚度	350 μm ~ 450 μm
Condutividade 导电类型	Tipo N / Semiisolante N型导电片/ 半绝缘片
Dopante 掺杂剂	N2 (nitróxeno) V (vanadio)
Orientación 晶向	<0001> apagado 4°± 0,5°
Resistividade 电阻率	0,02 ~ 0,1 ohmios-cm (Tipo 6H-N)
Densidade de microtubo (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Arco / Deformación 翘曲度	≤25 μm
Superficie 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready Cara C: Esmalte óptico
Grao 产品等级	Grao de investigación