Portadores de obleas epitaxiais revestidos de TaCadoitan usarse na preparación de dispositivos optoelectrónicos de alto rendemento, dispositivos de potencia, sensores e outros campos. Istoportador de obleas epitaxiaisrefírese á deposición deTaCpelícula delgada no substrato durante o proceso de crecemento do cristal para formar unha oblea con estrutura e rendemento específicos para a posterior preparación do dispositivo.
A tecnoloxía de deposición de vapor químico (CVD) adoita utilizarse para prepararPortadores de obleas epitaxiais revestidos de TaC. Ao reaccionar precursores metálicos orgánicos e gases fonte de carbono a alta temperatura, pódese depositar unha película de TaC na superficie do substrato cristalino. Esta película pode ter excelentes propiedades eléctricas, ópticas e mecánicas e é adecuada para a preparación de varios dispositivos de alto rendemento.
Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é para resolver o problema dos bordos e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
