Anillas guía de grafito revestidas de TaCrefírense á deposición dunha fina capa decarburo de tántalona superficie dun anel guía de grafito para mellorar a súa resistencia ao desgaste, resistencia ás altas temperaturas e estabilidade química. Este revestimento adoita formarse na superficie dun anel guía de grafito mediante técnicas como a deposición física de vapor (PVD) ou a deposición química de vapor (CVD).
Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é para resolver o problema dos bordos e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
As principais características dos aneis guía de grafito revestidos de TaC inclúen:
1. Resistencia a altas temperaturas: o revestimento de TaC ten unha excelente estabilidade a altas temperaturas e pode manter a estabilidade en ambientes de alta temperatura.
2. Resistencia ao desgaste: a alta dureza da capa fina de carburo de tántalo dálle ao anel guía unha boa resistencia ao desgaste e prolonga a súa vida útil.
3. Estabilidade química: o revestimento de TaC ten unha alta estabilidade fronte á corrosión química, polo que é adecuado para aplicacións nalgúns medios corrosivos.
4. Reducir a fricción: o revestimento de TaC pode reducir eficazmente a fricción entre o anel guía de grafito e outros compoñentes e mellorar a eficiencia dos selos mecánicos.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
-
Media lúa superior revestida de carburo de tantalio CVD
-
Susceptor de obleas de revestimento CVD de carburo de tantalio
-
Anillo revestido de desgaste de carburo de tantalio
-
Anillo de desviación de revestimento de carburo de tantalio
-
Susceptor de oblea revestido de carburo de tantalio
-
Anel de segmento revestido de TaC