Susceptor revestido de carburo de tantalio (TaC) para equipos de epitaxia

Breve descrición:

O grafito é un excelente material para altas temperaturas, pero se oxida facilmente a altas temperaturas. Incluso en fornos de baleiro con gas inerte, aínda pode sufrir unha oxidación lenta. Usar un revestimento de carburo de tántalo (TaC) CVD pode protexer eficazmente o substrato de grafito, proporcionando a mesma resistencia ás altas temperaturas que o grafito. O TaC tamén é un material inerte, o que significa que non reaccionará con gases como o argón ou o hidróxeno a altas temperaturas.Consulta Susceptor revestido de carburo de tantalio (TaC) para equipos de epitaxia agora!

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.

Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.

Revestimento de carburo de tántalo de alta eficiencia_ mellora a eficiencia da produción industrial e reduce os custos de mantemento Imaxe destacada

Parte Tac para o crecemento de cristal único

Revestimento antidesgaste de carburo de tántalo_ Protexe o equipo do desgaste e da corrosión Imaxe destacada

Grafito con anel revestido de TaC

con e sen TaC

Despois de usar TaC (dereita)

Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras: