Revestimento de TaCé un revestimento de material importante, que normalmente se prepara sobre unha base de grafito mediante a tecnoloxía de deposición de vapor químico orgánico metálico (MOCVD). Este revestimento ten excelentes propiedades, como alta dureza, excelente resistencia ao desgaste, resistencia a altas temperaturas e estabilidade química, e é axeitado para varias aplicacións de enxeñería de alta demanda.
A tecnoloxía MOCVD é unha tecnoloxía de crecemento de película fina de uso común que deposita a película composta desexada na superficie do substrato facendo reaccionar os precursores orgánicos metálicos con gases reactivos a altas temperaturas. Ao prepararRevestimento de TaC, seleccionando precursores orgánicos metálicos e fontes de carbono adecuadas, controlando as condicións de reacción e os parámetros de deposición, pódese depositar unha película de TaC uniforme e densa sobre unha base de grafito.
Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
