Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Coa chegada das obleas de carburo de silicio (SiC) de 8 polgadas, os requisitos para varios procesos de semicondutores fixéronse cada vez máis estritos, especialmente para os procesos de epitaxia onde as temperaturas poden superar os 2000 graos centígrados. Os materiais susceptores tradicionais, como o grafito revestido de carburo de silicio, tenden a sublimarse a estas altas temperaturas, interrompendo o proceso de epitaxia. Non obstante, o carburo de tántalo (TaC) CVD soluciona este problema de forma eficaz, soportando temperaturas de ata 2300 graos Celsius e ofrecendo unha vida útil máis longa. Contacte con Semicera's Susceptor de obleas de revestimento CVD de carburo de tantaliopara explorar máis sobre as nosas solucións avanzadas.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
-
Cuberta de grafito revestida de carburo de tantalio
-
Portador de obleas Epi revestido de TaC
-
Revestimento de carburo de tantalio TaC CVD Pezas personalizadas
-
Anillo de desviación de revestimento de carburo de tantalio
-
Anillo guía de revestimento CVD de carburo de tantalio
-
Anel revestido de carburo de tantalio personalizado