TaC Coated Plate é un disco especializado deseñado para o seu uso en procesos epitaxiais de SiC, elaborado con precisión a partir de material de grafito de alta calidade. A súa superficie está meticulosamente recuberta con carburo de tántalo (TaC), un composto coñecido pola súa excepcional pureza e resistencia. O revestimento de TaC mellora a durabilidade e resistencia da placa ás altas temperaturas, polo que é ideal para as condicións esixentes dos procesos epitaxiais de SiC.
Esta innovadora placa recuberta de TaC é un disco especializado deseñado para o seu uso en procesos epitaxiais de SiC, elaborado con precisión a partir de material de grafito de alta calidade. A superficie da placa recuberta de TaC está meticulosamente recuberta de carburo de tántalo (TaC), un composto coñecido pola súa pureza e resistencia excepcionales. serve como unha plataforma fiable para transportar obleas durante varias etapas do crecemento epitaxial de SiC. A súa base de grafito de alta pureza proporciona unha superficie estable e inerte, mentres que o revestimento de TaC engade unha capa adicional de protección contra reaccións químicas e desgaste.
SemicoeraA placa recuberta TaC está personalizada segundo os requisitos específicos dos clientes, garantindo un rendemento e compatibilidade óptimos cos seus sistemas epitaxiais de SiC. Xa sexa o tamaño, a forma ou outras especificacións, estas placas están adaptadas para satisfacer as necesidades únicas de cada aplicación.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras: