Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Os soportes de obleas revestidos de carburo de tantalio úsanse amplamente nos procesos de procesamento e manipulación de obleas nos procesos de fabricación de semicondutores. Ofrecen soporte e protección estables para garantir a seguridade, precisión e consistencia das obleas durante o proceso de fabricación. Os revestimentos de carburo de tantalio poden estender a vida útil do transportista, reducir custos e mellorar a calidade e fiabilidade dos produtos semicondutores.
A descrición do soporte de obleas revestido de carburo de tántalo é a seguinte:
1. Selección de material: o carburo de tantalio é un material con excelente rendemento, alta dureza, alto punto de fusión, resistencia á corrosión e excelentes propiedades mecánicas, polo que é amplamente utilizado no proceso de fabricación de semicondutores.
2. Revestimento de superficie: o revestimento de carburo de tántalo aplícase á superficie do soporte de obleas mediante un proceso de revestimento especial para formar un revestimento de carburo de tántalo uniforme e denso. Este revestimento pode proporcionar protección adicional e resistencia ao desgaste, ao tempo que ten unha boa condutividade térmica.
3. Planitude e precisión: o portador de obleas revestido de carburo de tantalio ten un alto grao de planitude e precisión, o que garante a estabilidade e precisión das obleas durante o proceso de fabricación. A planitude e o acabado da superficie do soporte son fundamentais para garantir a calidade e o rendemento da oblea.
4. Estabilidade de temperatura: os portadores de obleas revestidos de carburo de tantalio poden manter a estabilidade en ambientes de alta temperatura sen deformación ou afrouxar, garantindo a estabilidade e consistencia das obleas en procesos de alta temperatura.
5. Resistencia á corrosión: os revestimentos de carburo de tantalio teñen unha excelente resistencia á corrosión, poden resistir a erosión de produtos químicos e disolventes e protexen o portador da corrosión líquida e gaseosa.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
-
Placa planetaria de revestimento de carburo de tantalio (TaC).
-
Revestimento de carburo de tantalio TaC CVD Pezas personalizadas
-
Calentador MOCVD de carburo de tantalio
-
Tapas recubertas de carburo de tantalio
-
Placa de soporte de pedestal con revestimento de carburo de tantalio
-
Susceptor de obleas de revestimento CVD de carburo de tantalio