Lámina de grafito recuberta de carburo de tantalioé un material de grafito cunha fina capa decarburo de tántalona superficie do substrato. A capa delgada de carburo de tántalo adoita formarse na superficie do substrato de grafito mediante técnicas como a deposición física de vapor (PVD) ou a deposición química de vapor (CVD). Este revestimento ten excelentes propiedades como alta dureza, excelente resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión e estabilidade á alta temperatura.
Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é para resolver o problema dos bordos e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
As principais vantaxes da folla de grafito revestida de carburo de tántalo inclúen:
1. Resistencia a altas temperaturas: o carburo de tantalio ten un alto punto de fusión e unha excelente estabilidade a altas temperaturas, o que fai que a folla de grafito recuberta sexa axeitada para o seu uso en ambientes de alta temperatura.
2. Resistencia á corrosión: o revestimento de carburo de tantalio pode resistir a erosión de moitas substancias corrosivas químicas e prolongar a vida útil do material.
3. Alta dureza: a alta dureza da capa fina de carburo de tántalo proporciona unha boa resistencia ao desgaste e é adecuada para aplicacións que requiren unha alta resistencia ao desgaste.
4. Estabilidade química: o revestimento de carburo de tantalio ten unha excelente estabilidade á corrosión química e é axeitado para o seu uso nalgúns medios corrosivos.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
