Placa de soporte susceptor recuberta de carburo de tantalioé un susceptor ou estrutura de soporte que está cuberto cunha fina capa decarburo de tántalo. Este revestimento pode formarse na superficie do susceptor mediante técnicas como a deposición física de vapor (PVD) ou a deposición química en vapor (CVD), dando ao susceptor as propiedades superiores decarburo de tántalo.
Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
As principais características das placas de soporte base revestidas de carburo de tántalo inclúen:
1. Estabilidade á alta temperatura: o carburo de tantalio ten unha excelente estabilidade a altas temperaturas, o que fai que a placa de soporte base revestida sexa adecuada para as necesidades de soporte en ambientes de traballo de alta temperatura.
2. Resistencia á corrosión: o revestimento de carburo de tantalio ten unha boa resistencia á corrosión, pode resistir á corrosión química e á oxidación e prolonga a vida útil da base.
3. Alta dureza e resistencia ao desgaste: a alta dureza do revestimento de carburo de tántalo dálle á placa de soporte base unha boa resistencia ao desgaste, que é adecuada para ocasións que requiren unha alta resistencia ao desgaste.
4. Estabilidade química: o carburo de tantalio ten unha alta estabilidade para unha variedade de substancias químicas, o que fai que a placa de soporte base revestida funcione ben nalgúns ambientes corrosivos.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
