Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor. O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
O carburo de silicio (SiC) é un material clave na terceira xeración de semicondutores, pero a súa taxa de rendemento foi un factor limitante para o crecemento da industria. Despois de extensas probas nos laboratorios de Semicera, comprobouse que o TaC pulverizado e sinterizado carece da pureza e uniformidade necesarias. En cambio, o proceso CVD garante un nivel de pureza de 5 PPM e unha excelente uniformidade. O uso de CVD TaC mellora significativamente a taxa de rendemento das obleas de carburo de silicio. Agradecemos as discusiónsAnillo guía de revestimento CVD de carburo de tantalio para reducir aínda máis os custos das obleas de SiC.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D. Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa. A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais.
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, o de SemiceraProdutos revestidos de TaCpresentan unha vida útil máis longa e unha maior resistencia a altas temperaturas en comparación conRevestimentos de SiC.As medicións de laboratorio demostraron que o nosoRevestimentos TaCpode funcionar constantemente a temperaturas de ata 2300 graos Celsius durante períodos prolongados. Abaixo amósanse algúns exemplos das nosas mostras:
