Principais características:
1. Resistencia á oxidación a alta temperatura:
a resistencia á oxidación aínda é moi boa cando a temperatura é tan alta como 1600 C.
2. Alta pureza: feita por deposición química de vapor en condicións de cloración a alta temperatura.
3. Resistencia á erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
Especificacións principais deRevestimento CVD-SIC
| Propiedades SiC-CVD | ||
| Estrutura cristalina | Fase β de FCC | |
| Densidade | g/cm³ | 3.21 |
| Dureza | Dureza Vickers | 2500 |
| Tamaño do gran | μm | 2~10 |
| Pureza Química | % | 99,99995 |
| Capacidade calorífica | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Temperatura de sublimación | ℃ | 2700 |
| Forza felexural | MPa (RT de 4 puntos) | 415 |
| Módulo de Young | Gpa (cobra de 4 puntos, 1300 ℃) | 430 |
| Expansión térmica (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Condutividade térmica | (W/mK) | 300 |
-
Medias pezas para equipos epitaxiais de SiC
-
Elementos de calefacción para substrato MOCVD
-
Susceptor de barril revestido de SiC
-
Bandeja MOCVD revestida de SiC de alta pureza antioxidación
-
Material de campo térmico para cristales de carburo de silicio...
-
Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de silicio...