Elementos de calefacción para substrato MOCVD

Breve descrición:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. é un provedor líder de cerámicas de semicondutores avanzadas e o único fabricante en China que pode proporcionar simultaneamente cerámica de carburo de silicio de alta pureza (especialmente oRecristalizado SiC) e revestimento CVD SiC. Ademais, a nosa empresa tamén aposta por campos cerámicos como a alúmina, nitruro de aluminio, circonio, nitruro de silicio, etc.

 

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Características principais do quentador de grafito:

1. uniformidade da estrutura de calefacción.

2. boa condutividade eléctrica e alta carga eléctrica.

3. resistencia á corrosión.

4. inoxidabilidade.

5. alta pureza química.

6. alta resistencia mecánica.

A vantaxe é a eficiencia enerxética, o alto valor e o baixo mantemento. Podemos producir crisol de grafito anti-oxidación e longa vida útil, moldes de grafito e todas as partes do quentador de grafito.

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Principais parámetros do quentador de grafito

Especificación técnica

Semicera-M3

Densidade aparente (g/cm3)

≥1,85

Contido de cinzas (PPM)

≤500

Dureza Shore

≥45

Resistencia específica (μ.Ω.m)

≤12

Resistencia á flexión (Mpa)

≥40

Resistencia a la compresión (Mpa)

≥70

Máx. Tamaño de gran (μm)

≤43

Coeficiente de expansión térmica Mm/°C

≤4,4*10-6

Calentador de substrato MOCVD_ Elementos de calefacción para MOCVD
Lugar de traballo Semicera
Lugar de traballo semicera 2
Máquina de equipamento
Procesamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
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