Semicera Semicera ofrece revestimentos de carburo de tántalo (TaC) especializados para varios compoñentes e soportes.O proceso de revestimento líder de Semicera Semicera permite que os revestimentos de carburo de tántalo (TaC) acaden unha pureza elevada, estabilidade a altas temperaturas e alta tolerancia química, mellorando a calidade do produto dos cristais SIC/GAN e das capas EPI (Susceptor de TaC revestido de grafito), e prolongando a vida útil dos compoñentes clave do reactor.O uso do revestimento de carburo de tántalo TaC é resolver o problema do bordo e mellorar a calidade do crecemento dos cristais, e Semicera Semicera resolveu a tecnoloxía de revestimento de carburo de tántalo (CVD), alcanzando un nivel avanzado internacional.
Despois de anos de desenvolvemento, Semicera conquistou a tecnoloxía deCVD TaCco esforzo conxunto do departamento de I+D.Os defectos son fáciles de producir no proceso de crecemento das obleas de SiC, pero despois do usoTaC, a diferenza é significativa.A continuación móstrase unha comparación de obleas con e sen TaC, así como as pezas de Simicera para o crecemento de monocristais
con e sen TaC
Despois de usar TaC (dereita)
Ademais, a vida útil dos produtos de revestimento de TaC de Semicera é máis longa e máis resistente ás altas temperaturas que a do revestimento de SiC.Despois de moito tempo de datos de medición de laboratorio, o noso TaC pode funcionar durante moito tempo a un máximo de 2300 graos Celsius.As seguintes son algunhas das nosas mostras:
(a) Diagrama esquemático do dispositivo de cultivo de lingotes de cristal único de SiC polo método PVT (b) Soporte de semente superior revestido de TaC (incluída a semente de SiC) (c) Anel guía de grafito revestido de TAC
