RTP CVD SiC Ring

Breve descrición:

Os aneis de RTP CVD SiC están compostos principalmente por carburo de silicio (SiC), cuxa composición química e estrutura cristalina danlle un excelente rendemento. O carburo de silicio é un material cerámico con alto punto de fusión, alta dureza e excelente resistencia á corrosión. Presenta unha boa condutividade térmica e estabilidade química a altas temperaturas, e ten unha excelente resistencia mecánica e resistencia ao desgaste.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Por que é o anel de gravado de carburo de silicio?

RTPAneis CVD SiCson amplamente utilizados en campos industriais e científicos en ambientes de alta temperatura e corrosivos. Desempeña un papel importante na fabricación de semicondutores, optoelectrónica, maquinaria de precisión e industria química. As aplicacións específicas inclúen:

1. Fabricación de semicondutores:Aneis RTP CVD SiCpódese usar para quentar e arrefriar equipos de semicondutores, proporcionando un control estable da temperatura e garantindo a precisión e consistencia do proceso.

2. Optoelectrónica: debido á súa excelente condutividade térmica e resistencia a altas temperaturas, RTPAneis CVD SiCpódese utilizar como soporte e materiais de disipación de calor para láseres, equipos de comunicación de fibra óptica e compoñentes ópticos.

3. Máquinas de precisión: os aneis RTP CVD SiC pódense usar para instrumentos e equipos de precisión en ambientes corrosivos e de alta temperatura, como fornos de alta temperatura, dispositivos de baleiro e reactores químicos.

4. Industria química: Debido á súa resistencia á corrosión e estabilidade química, os aneis RTP CVD SiC pódense utilizar en recipientes, tubos e reactores en reaccións químicas e procesos catalíticos.

Sistema Epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Rendemento do produto:

1. Coñece o proceso por debaixo de 28 nm

2. Super resistencia á corrosión

3. Rendemento super limpo

4. Super dureza

5. Alta densidade

6. Resistencia a altas temperaturas

7. Resistencia ao desgaste

Aplicación do produto:

Os materiais de carburo de silicio teñen as características de alta dureza, resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión e estabilidade á alta temperatura. Os produtos con excelente rendemento completo úsanse amplamente nos procesos de gravado en seco e TF/difusión.