Susceptor de crecemento de cristal revestido de carburo de silicio

Breve descrición:

Semicera ofrece unha ampla gama de susceptores e compoñentes de grafito deseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociacións estratéxicas con OEM líderes da industria, ampla experiencia en materiais e capacidades de fabricación avanzadas, Semicera ofrece deseños personalizados para satisfacer os requisitos específicos da súa aplicación. O noso compromiso coa excelencia garante que reciba solucións óptimas para as súas necesidades do reactor de epitaxia.

 

 


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

A nosa empresa ofreceRevestimento de SiCServizos de procesamento na superficie de grafito, cerámica e outros materiais mediante o método CVD, de xeito que os gases especiais que conteñen carbono e silicio poidan reaccionar a altas temperaturas para obter moléculas Sic de alta pureza, que poden depositarse na superficie dos materiais revestidos para formar unCapa protectora de SiCpara epitaxia tipo barril hipnótico.

 

Principais características:

1 .Grafito revestido de SiC de alta pureza

2. Resistencia á calor superior e uniformidade térmica

3. BenRevestimento de cristal SiCpara unha superficie lisa

4. Alta durabilidade fronte á limpeza química

 
Susceptor de barril (6)

Especificacións principais deRevestimento CVD-SIC

Propiedades SiC-CVD

Estrutura cristalina Fase β de FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño de gran μm 2~10
Pureza Química % 99,99995
Capacidade calorífica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Forza felexural MPa (RT de 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (cobra de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Condutividade térmica (W/mK) 300

 

 
2--cvd-sic-pureza---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
Lugar de traballo Semicera
Lugar de traballo semicera 2
Máquina de equipamento
Procesamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
O noso servizo

  • Anterior:
  • Seguinte: