Barril de reactor epitaxial revestido de SiC

Descrición curta:

Semicera ofrece unha ampla gama de susceptores e compoñentes de grafito deseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociacións estratéxicas con OEM líderes da industria, ampla experiencia en materiais e capacidades de fabricación avanzadas, Semicera ofrece deseños personalizados para satisfacer os requisitos específicos da súa aplicación.O noso compromiso coa excelencia garante que reciba solucións óptimas para as súas necesidades do reactor de epitaxia.

 

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Descrición

A nosa empresa ofreceRevestimento de SiCProcesar servizos na superficie de grafito, cerámica e outros materiais mediante o método CVD, de xeito que os gases especiais que conteñen carbono e silicio poidan reaccionar a altas temperaturas para obter moléculas Sic de alta pureza, que poden depositarse na superficie dos materiais revestidos para formar unCapa protectora de SiCpara epitaxia tipo barril hipnótico.

 

sic (1)

sic (2)

Características principais

1. Resistencia á oxidación a alta temperatura:
a resistencia á oxidación aínda é moi boa cando a temperatura é tan alta como 1600 C.
2. Alta pureza: feita por deposición química de vapor en condicións de cloración a alta temperatura.
3. Resistencia á erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.

Especificacións principais do revestimento CVD-SIC

Propiedades SiC-CVD
Estrutura cristalina Fase β de FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño do gran μm 2~10
Pureza Química % 99,99995
Capacidade calorífica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Forza felexural MPa (RT de 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (cobra de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Condutividade térmica (W/mK) 300
Lugar de traballo Semicera
Lugar de traballo semicera 2
Máquina de equipamento
Procesamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
O noso servizo

  • Anterior:
  • Seguinte: