Descrición
Os portadores de obleas Semicorex con revestimento de SiC proporcionan unha estabilidade térmica e condutividade excepcionales, asegurando unha distribución uniforme da calor durante os procesos CVD, crucial para as características de película fina e revestimento de alta calidade.
Características principais:
1. Excelente estabilidade térmica e condutividadeOs nosos soportes de obleas revestidos de SiC destacan por manter temperaturas estables e consistentes, cruciais para os procesos CVD. Isto garante unha distribución uniforme da calor, o que leva a unha película fina e unha calidade de revestimento superior.
2. Fabricación de precisiónCada soporte de obleas está fabricado con estándares esixentes, garantindo un grosor uniforme e unha superficie lisa. Esta precisión é vital para acadar taxas de deposición e propiedades de película consistentes en varias obleas, mellorando a calidade xeral de fabricación.
3. Barreira de impurezasO revestimento de SiC actúa como unha barreira impermeable, evitando a difusión de impurezas do susceptor á oblea. Isto minimiza os riscos de contaminación, o que é fundamental para producir dispositivos semicondutores de alta pureza.
4. Durabilidade e rendibilidadeA construción robusta e o revestimento de SiC melloran a durabilidade dos portadores de obleas, reducindo a frecuencia de substitucións de susceptores. Isto leva a reducir os custos de mantemento e o tempo de inactividade ao mínimo, aumentando a eficiencia das operacións de fabricación de semicondutores.
5. Opcións de personalizaciónOs portadores de obleas Semicorex con revestimento de SiC pódense personalizar para cumprir requisitos específicos do proceso, incluíndo variacións de tamaño, forma e grosor do revestimento. Esta flexibilidade permite a optimización do susceptor para que coincida coas demandas únicas dos diferentes procesos de fabricación de semicondutores. As opcións de personalización permiten o desenvolvemento de deseños de susceptores adaptados a aplicacións especializadas, como a fabricación de gran volume ou a investigación e o desenvolvemento, garantindo un rendemento óptimo para casos de uso específicos.
Aplicacións:
Os soportes de obleas Semicera con revestimento de SiC son idóneos para:
• Crecemento epitaxial de materiais semicondutores
• Procesos de Deposición Química en Vapor (CVD).
• Produción de obleas de semicondutores de alta calidade
• Aplicacións avanzadas de fabricación de semicondutores
Especificacións técnicas:
