Os substratos de obleas Semicera 3C-SiC están deseñados para proporcionar unha plataforma robusta para dispositivos electrónicos de potencia de próxima xeración e dispositivos de alta frecuencia. Con propiedades térmicas e características eléctricas superiores, estes substratos están deseñados para satisfacer os esixentes requisitos da tecnoloxía moderna.
A estrutura 3C-SiC (carburo de silicio cúbico) dos substratos de obleas Semicera ofrece vantaxes únicas, incluíndo unha maior condutividade térmica e un menor coeficiente de expansión térmica en comparación con outros materiais semicondutores. Isto convérteos nunha excelente opción para dispositivos que funcionan a temperaturas extremas e condicións de alta potencia.
Cunha alta tensión de avaría eléctrica e unha estabilidade química superior, os substratos de obleas Semicera 3C-SiC garanten un rendemento e unha fiabilidade duradeiros. Estas propiedades son fundamentais para aplicacións como o radar de alta frecuencia, a iluminación de estado sólido e os inversores de enerxía, onde a eficiencia e a durabilidade son primordiales.
O compromiso de Semicera coa calidade reflíctese no meticuloso proceso de fabricación dos seus substratos de obleas 3C-SiC, que garanten uniformidade e consistencia en cada lote. Esta precisión contribúe ao rendemento xeral e á lonxevidade dos dispositivos electrónicos construídos sobre eles.
Ao elixir os substratos de obleas Semicera 3C-SiC, os fabricantes acceden a un material de vangarda que permite o desenvolvemento de compoñentes electrónicos máis pequenos, rápidos e eficientes. Semicera segue apoiando a innovación tecnolóxica proporcionando solucións fiables que atenden ás demandas en evolución da industria de semicondutores.
| Elementos | Produción | Investigación | Maniquí |
| Parámetros de cristal | |||
| Politipo | 4H | ||
| Erro de orientación da superficie | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parámetros eléctricos | |||
| Dopante | Nitróxeno tipo n | ||
| Resistividade | 0,015-0,025 ohmios·cm | ||
| Parámetros mecánicos | |||
| Diámetro | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Espesor | 350 ± 25 μm | ||
| Orientación plana primaria | [1-100]±5° | ||
| Lonxitude plana primaria | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Piso secundario | Ningún | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Proa | -15 μm ~ 15 μm | -35 μm ~ 35 μm | -45 μm ~ 45 μm |
| Deformación | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Rugosidade frontal (Si-face) (AFM) | Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm) | ||
| Estrutura | |||
| Densidade de microtubos | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Impurezas metálicas | ≤5E10 átomos/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Calidade frontal | |||
| Fronte | Si | ||
| Acabado superficial | CMP Si-face | ||
| Partículas | ≤60ea/oblea (tamaño ≥0,3μm) | NA | |
| Raiaduras | ≤5 unidades/mm. Lonxitude acumulada ≤Diámetro | Lonxitude acumulada ≤ 2 * Diámetro | NA |
| Casca de laranxa/focos/manchas/estrías/grietas/contaminación | Ningún | NA | |
| Fichas de borde/sanges/fracturas/placas hexagonales | Ningún | ||
| Áreas politípicas | Ningún | Área acumulada ≤ 20% | Área acumulada ≤ 30% |
| Marcado frontal con láser | Ningún | ||
| Calidade traseira | |||
| Acabado traseiro | C-face CMP | ||
| Raiaduras | ≤5ea/mm,Lonxitude acumulada≤2*Diámetro | NA | |
| Defectos posteriores (fichas de bordo/sangrías) | Ningún | ||
| Rugosidade nas costas | Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm) | ||
| Marcado láser traseiro | 1 mm (desde o borde superior) | ||
| Borde | |||
| Borde | Chaflán | ||
| Embalaxe | |||
| Embalaxe | Epi-ready con envasado ao baleiro Embalaxe de casetes multiwafer | ||
| *Notas: "NA" significa que non hai solicitude. Os elementos non mencionados poden referirse a SEMI-STD. | |||






